栅氧化层 关于栅氧化层简述

开心常识网 1415 2023-03-30 09:02:21

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为了有效地抑制短沟道效应,并保持良好的亚阈值斜率,栅氧化层厚度要和沟道长度以同样的比例下降。

对于0.1μm尺度的CMOS器件,栅氧化层厚度需达到3nm左右。

对于超薄氧化层而言,最大的问题是会发生量子隧道穿通效应。

栅氧化层的隧穿电流将随氧化层厚度的减少量指数增长,栅偏压1.5V时,氧化层厚度若从3.6nm降到1.5nm,栅电流密度大约会增长10个数量级。

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